中微公司(688012)：23Q1业绩同比保持高增 多产品线平台化布局驱动成长

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事件：公司发布2023 年第一季度报告。2023Q1 公司实现营业收入12.23 亿元，同比+28.86%；实现归母净利润2.75 亿元，同比+134.98%；实现扣非后归母净利润2.28 亿元，同比+22.22%。

点评：多产品线平台化布局，刻蚀、薄膜设备业务不断精进驱动23Q1 收入及利润继续高增。收入方面，公司在2022Q1 同比+57.31%达9.49 亿元基础上，2023Q1 同比+28.86%，主要系：1）刻蚀设备：获国内外客户认可，市场占有率不断提高。23Q1 刻蚀设备收入为 8.14 亿元，同比+ 13.94%，毛利率达47.29%。其中ICP 刻蚀设备不断地核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断收到领先客户的批量订单。2）MOCVD 设备：收入达1.67 亿元，同比+ 300.48%，毛利率达40.09%。利润方面，23Q1 归母净利润增长主要系：1）23Q1 收入和毛利增长下扣非后净利润同比增加 0.41 亿元。2）23Q1 非经常性损益为收益0.48 亿元，较上年同期的亏损0.69 亿元增加约 1.17 亿元。3）公司保持高研发投入，23Q1 研发投入2.22 亿元，营收占比18.14%，同比+2.59pct。公司业绩持续稳健增长，上行动能较充足。2012-2022 十年的平均年营收增速超35%，2022 年新签订单金额约63.2 亿元，较2021 年增加约21.9 亿元，同比增加约 53.0%，订单销售比达到1.33。

刻蚀技术重要性日渐提升，5 纳米及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售，产品差异化配置满足客户多维需求。随着先进芯片制程从14 纳米向5 纳米及更先进工艺的方向发展，光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。产量及工艺方面，公司 2022 年共生产付运 475 个CCP 刻蚀反应腔，同比增长 59.40%。在先进逻辑器件方面，公司的双反应台刻蚀机不断完善设备性能，在国际最先进的5 纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售，截至23Q1，已有超过 200 台反应台在生产线合格运转。存储器件应用方面，公司的刻蚀设备不仅在 3DNAND 的生产线被广泛应用，还成功的通过了多个动态存储器的工艺验证，并取得了重复订单。2022年度公司 ICP 技术设备产品类中的8 英寸和12 英寸深硅刻蚀设备 Primo TSV200E、Primo TSV300E在晶圆级先进封装、2.5 维封装和微机电系统芯片生产线等成熟刻蚀市场继续获得重复订单的同时，在300mm 的3D 芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户300mm 微机电系统芯片的生产线上获得认证机台的机会，这些新工艺的验证为公司 Primo TSV300E刻蚀设备开拓了新的市场机会。

薄膜设备第二增长曲线扬帆起航，CVD 钨设备、ALD 氮化钛设备面向高端存储/逻辑领域开发验证进展顺利，Mini-LED 显示外延片生产设备领域处于国际领先。截止2022 年末，公司累计MOCVD产品出货量超过500 腔，持续保持国际氮化镓基MOCVD 设备市场领先地位。其中1）在Mini-LED显示外延片生产设备领域处于国际领先，Prismo UniMax 产品累计出货量已超过120 腔。2）2022年推出了用于氮化镓功率器件生产的MOCVD 设备Prismo PD5，目前已交付国内外领先客户进行生产验证，并取得了重复订单。3）启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，2023 年将交付样机至客户端开展生产验证。4）针对Micro-LED 应用的专用MOCVD 设备正开发中。5）2022 年公司首台CVD 钨设备付运到关键存储客户端验证评估，应用于金属互联的CVD 钨制程设备各项性能已能够满足客户工艺验证的需求。6）公司开发的应用于高端存储和逻辑器件的ALD 氮化钛设备也在稳步推进，已经进入实验室测试阶段。7）LPCVD 仅用时不到半年时间顺利导入客户端进行生产线核准，创造了公司开发设备产品的最快纪录。

产业化建设项目顺利进行，为长期发展奠定基础。公司在南昌的约 14 万平方米的生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于2022 年7 月投入试生产；公司在上海临港的约 18 万平方米的生产和研发基地主体建设已完成，2023 年将部分投入使用；上海临港滴水湖畔约 10 万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。两年内，公司预期会有比现在十五倍大的厂房陆续建成，为今后的大发展夯实基础。

股权激励彰显信心，为公司持续健康发展提供机制保障。公司于2022 年3 月发布股权激励草案，激励对象总人数为1104 人，占公司全部职工人数的99.37%，向激励对象授予400 万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本总额61,624.45 万股的0.649%。限制性股票的授予价格为每股50 元。至2022 年末，公司层面考核指标已完成，期末已获授予股权激励数量400 万股。

投资建议：公司业绩持续高增，大硅片规模效应持续放量，预测2023/2024 年归母净利润14.44/17.5亿元，上调2025 年盈利预测，由19.74 亿元上调至24.44 亿元，维持“买入”评级。

风险提示：新应用及新产品拓展不及预期；竞争环境恶化风险；供应商扩产不及预期

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